定义
用于生产具有均匀强度分布的光束轮廓的装置。
光束均质器是用于修改激光束(或有时是其他光束)的光学设备,使得在某个区域获得几乎恒定的光学强度,而在该区域之外的强度可以忽略不计。 某些应用需要这种平顶光束,特别是某些形式的激光材料加工和光学光刻(例如用于计算机芯片制造),其中需要将工件上的某个区域暴露在明确定义的光辐射量下。
光束均质器通常对光束的振幅分布应用随机或准随机变化,在这方面,它们与光束整形器有很大不同,后者以确定性的方式工作。
许多光束均质器在焦平面上产生所需的均匀光束轮廓,而其他光束均质器则用于远场。 产生的强度曲线的形状通常是正方形,在其他情况下是圆形。
生成的光束轮廓通常不是完全平坦的,但表现出一定程度的随机波动,有时也表现出相对规则的干涉图案。 根据应用的要求,需要或多或少复杂的操作原理,以获得足够高质量的均质化以及足够高的光学效率。
操作原则
光束均质机的工作原理可能有很大差异,并且通常涉及复杂的考虑因素。 概念上简单的方法(如使用简单的随机扩散板)通常是不够的,因为无法与高光学效率(即高光功率吞吐量)一起实现所需的均质化质量。 因此,已经开发了更先进的概念:
- 一些光束均质器最好基于傅里叶光学进行解释。 例如,它们可以基于放置在共轭平面中的微透镜阵列,并且还包含傅里叶透镜。
- 一些均质机在成像的基础上工作,但也有非成像设计,例如基于波导(光导管,例如均质棒)或多模光纤。 它们最适合多色非准直光输入。
- 此外,还有其他类型的微光学衍射元件,部分具有伪随机结构,用于其他类型的均质器。
- 当使用高度相干的输入光束时,有时还需要应用旋转扩散板 - 这一概念仅适用于连续波光束,不适用于短激光脉冲。
哪种工作原理最适合应用通常取决于详细要求和输入光束的相干特性。 菲涅耳数有时被用作选择此类方法的标准。