数字面型检测仪

 

         数字面型检测仪是一种新型的高精度光学元件检测仪,其基本原理是基于非干涉相位恢复算法测量相位变化,进而实现光学元件、硅片、金属元件的面型检测或光学元件的相位透射率分布测量。这是首次将基于相位调制的波前恢复算法用于光学元件检测。

 

产品特点

  • 测量精度高
  • 分辨高
  • 动态测量范围大
  • 硬件结构紧凑,无需参考光
  • 环境稳定性要求低
  • 适用特殊光学元件测量
 

产品应用

  • 光学元件及金属元件面型检测
  • 非球面镜与自由曲面镜检测
  • 连续相位板与涡旋相位板检测
  • 光学元件透射率检测

 

技术参数

探测CCD像素尺寸 5.5 μm 测量时间 < 20 s (GPU硬件加速)
光斑采样数 4096×4096 测量口径 Φ50 - Φ100 mm
工作波长 632.8 nm 输出数据格式 txt/jpg/tif/bmp…
测量范围 λ/10 - 3λ (PV) 系统软件工作环境 可提供配套高性能工作站,达到最佳使用效果
测量精度 1/10 λ (PV) 工作环境 可用于车间等工程应用环境检测,可定制支撑装置

 

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数字面型检测仪 5.5 μm 4096×4096
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数字面型检测仪
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