TVS-SMM系列MEMS二维扫描振镜是一种基于静电力式的矢量扫描器件，具有四个静电双向旋转器，通过特殊的硅支架连接。当给定稳态模拟高压驱动信号MEMS镜像会产生的稳态模拟转角，并且高度可重复。同时，它也可以工作在谐振模式下，器件在较低的工作电压下即可得到更大的扫描角度。因此，通过改变驱动信号的形式，可以很容易的得到3种扫描模式，即点对点扫描模式（双轴准静态）、栅格扫描模式（快轴近谐振，慢轴准静态）和李萨如扫描模式（双轴近谐振）。该MEMS扫描镜具备体积小、扫描角较大、双轴可同时兼容准静态及谐振控制、功耗极低等特点，在生物成像、激光雷达、抬头显示等领域具有很大应用空间。
产品应用
产品优势
| MEMS型号 | 机械角[︒] | 芯片尺寸[mm] | 镜面直径[mm] | 文件 | 单价 | 购物车 | |
| TVS-SMM-A318.2-800AL | +6 | 4.25 x 4.25 | 0.8 |
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| TVS-SMM-A7M8.1-800AL | +4.75 | 5.20 x 5.20 | 0.8 |
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| TVS-SMM-A7M10.2-1000AL | +4.75 | 5.20 x 5.20 | 1.0 |
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| TVS-SMM-A3112.2-1200AL | 士5 | 4.25 x 4.25 | 1.2 |
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| TVS-SMM-F1M16.2-1600AL | ±4.5 | 5.20 x 5.20 | 1.6 |
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| TVS-SMM-A7M20.2-2000AL | ±5 | 5.20 x 5.20 | 2.0 |
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| TVS-SMM-A5M24.3-2400AL | ±5 | 7.25 x 7.25 | 2.4 |
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