定义
气体放电灯，其中紫外线辐射是由激发的二聚体自发发射产生的。
准分子灯（excilamps）是一种特殊类型的气体放电灯，其中紫外线的产生涉及激发的二聚体（或更普遍的分离分子）。 与准分子激光器相比，它们不包含激光谐振器，因此仅利用自发发射。 因此，它们是漫射发射的灯，例如向侧面发射的长管，而不是产生定向空间相干激光束。
自发发射后，去激发的二聚体迅速解离。 因此，产生的辐射基本上没有重吸收（众所周知，这是一个问题，例如在汞蒸气灯中，它大大降低了功率转换效率）。 此功能对于气体密度相对较高的灯特别有益。
准分子灯的工作压力变化范围很广，从几毫巴的低压灯到具有多个大气压的高压灯。 即使是高压准分子灯也不能在特别高的等离子温度下工作，因为功率密度适中，辐射效率相对较高。 由于不需要高等离子温度，因此没有大量的预热时间。
当然，这种灯的包络玻璃对于发射波长必须非常透明。 例如，紫外级熔融石英可用于低至 200 nm 以下的波长。
准分子灯的典型特性
几何形状
准分子灯通常具有向侧面辐射的长圆柱形管的形状。 但是，也可以用各种其他形状生产它们。 例如，有准分子灯的设计，其设计围绕流管布置，可以通过流管发送要照射的气体或液体。 例如，这种几何形状对于水净化很有用。
发射波长
下表显示了常见准分子和准分子物种的发射波长：
| 准分子 | 波长 |
|---|---|
| NeF* | 108nm |
| Ar2* | 126 nm |
| Kr2* | 146 nm |
| F2* | 158 nm |
| ArBr* | 165 nm |
| Xe2* | 172 nm |
| ArCl* | 175 nm |
| KrI* | 190 nm |
| ArF* | 193 nm |
| KrBr* | 207 nm |
| KrCl* | 222 nm |
| KrF* | 248 nm |
| XeI* | 253 nm |
| Cl2* | 259 nm |
| XeBr* | 282 nm |
| Br2* | 289 nm |
| XeCl* | 308 nm |
| I2* | 342 nm |
| XeF* | 351 nm |
例如，Ar2和 Xe2是真正的二聚体，而NeF和ArCl严格来说应该被称为exciplex分子。 星（*）表示我们处理的是电子激发的物种。
该列表包含真空紫外范围（低于 ≈ 200 nm）中的各种值，其中没有很多替代解决方案可用。
获得的辐射基本上是准单色的；当然，一条紫外线发射线显然占主导地位。 发射带宽通常为几纳米。 如果需要，可以过滤掉一些额外的不需要的较弱谱线。
仅发射少量可见光和红外光。 在操作过程中，人们通常会看到来自其他光谱线的一些可见光芒，然而，这些光谱线携带的辐射通量比产生的紫外线的辐射通量弱得多。
连续或脉冲发射
虽然准分子激光器基本上总是脉冲激光器，但准分子灯通常在连续波模式下工作。 这是因为不需要非常高的激发密度，使发射体积变大一点是没有问题的。 通常，功率密度适中 – 大约 1 W/cm2用于高压灯，对于低压灯则低得多。
使用的电极类型和几何形状适用于操作模式和准分子类型。 例如，介电阻挡放电（由射频驱动）对于连续发射灯很常见。 该技术的一个有益特性是电极不需要与等离子体直接接触，因此可以延长灯的使用寿命。
效率
准分子灯的辐射效率很容易达到几十%的值，这取决于所使用的准分子种类，还取决于气体压力、功率密度和电极几何形状等细节。 与竞争技术相比，实现的效率值相当有利。
灯泡寿命
使用普通的介质阻挡放电灯，可以实现数千小时的使用寿命。 然而，特别是对于发射波长相对较短的灯，由于色心的形成，包络玻璃（以及光输出）的透明度可能会下降。
准分子灯的应用
准分子灯用于需要短波长紫外线的各种行业。 例如，它们可用于印刷工艺、光刻、粘合剂的紫外线固化、表面清洁和激光表面改性、臭氧产生和灭菌（消毒）。 通常，由紫外线诱导的光化学过程被利用。 在某些情况下，细菌（微生物）的失活是相关的；这可以通过破坏DNA和RNA起作用，也可以通过在较高辐射暴露下有机物质的一般矿化起作用。
汞蒸气灯也经常用作紫外线源；与那些相比，准分子灯在环境上更温和，因为使用的发射物质毒性较小，如果有问题的话。 然而，灯的具体选择通常由所需的发射波长决定。
参考文献
[1] J.-Y. Zhang and I. W. Boyd, “Lifetime investigation of excimer UV sources”, Appl. Surface Science 168, 296 (2000)
[2] T. Oppenländer, “Mercury-free sources of VUV/UV radiation: application of modern excimer lamps (excilamps) for water and air treatment”, J. Environ. Eng. Sci. 6, 253 (2007), doi:10.1139/S06-059
