定义
具有一个或两个表面的具有非常高的光学质量和平面度的板。
光学平面是具有一个或两个表面的具有特别高光学质量和平面度的板。 平面度用两个平行假想平面之间的距离来量化,其中一个与曲面的最高点相切,另一个与最低点相切。 该平坦度测量通常至少为λ/10,有时甚至要好得多 - 例如低至几纳米。 表面粗糙度通常也很低。
应用
光学平面主要用作干涉仪中的高度平坦的参考表面,用于检查光学元件的平面度,例如光学窗口,激光反射镜,棱镜,光学滤光片或激光晶体。 例如,可以将光学平面放置在靠近被检测表面的位置,但稍微倾斜该表面,这样当组件被单色光照射时,具有理想质量的表面将产生规则的直干涉条纹图案。 与该模式的任何偏差都表明偏离了完美的平整度。
制造
光学平面的制造步骤大致与镜面基板相同。
随着进一步的生产步骤,例如电介质涂层的应用,它们的光学平面本身也可以变成高质量的光学元件。 例如,Twyman-Green干涉仪需要一个非常平坦的参考镜,它可以由光学平面制成。
为了检查光学平面的质量,可以在干涉仪中检查它们,最好使用更好的参考表面。 在某些情况下,人们使用基于汞等液体的参考表面,这种表面可能非常平坦,但难以处理。
光学平面的类型
通常,光学平面具有圆柱形,直径为几厘米,厚度为几毫米,并且由熔融石英或其他一些透明光学玻璃制成。 因此,它看起来像一个镜面基板。 但是,可以使用不同类型的光学平面:
- 其中一些非常大,直径为数十厘米,适合测试非常大的表面。
- 可以使用不同的光学材料。熔融石英很常见,因为它在机械上相当坚硬且化学稳定,并且表现出相对较小的热膨胀系数(0.55 · 10−6 K−1). 然而,如果有兴趣的话,也可以使用热膨胀系数甚至低几倍的玻璃陶瓷(例如Zerodur)。 例如,为了测试红外光学器件,可以使用各种其他材料,例如锗、硅、硒化锌 (ZnSe) 和蓝宝石。
可以获得不同程度的表面质量。 典型的平面度规格为 λ/10,但可提供更高的质量。 通常,表面质量应大大优于待测物体的规格,因此获得的与平面度的偏差在很大程度上取决于这些物体的质量。
光学平面的处理
即使是来自熔融石英等坚固材料的光学耀斑β也应非常小心地处理,以避免任何表面损坏。 例如,应始终将光学平板存放在合适的盒子中,用柔软的材料包裹在其中。
在干涉测量过程中,光学平面和被测表面都应该非常干净;请参阅有关光学元件清洁的文章。