定义
基于金属-半导体接触（肖特基接触）的快速光探测器件。
金属-半导体-金属光探测器（MSM光探测器）是一种光探测器，包含两个肖特基接触，即半导体材料上具有两个金属电极，类似于光电二极管中的p-n结。在工作时，电极上施加一定的电压。当光入射到电极间的半导体材料上时，会产生载流子（电子和空穴），在电场的作用下形成光电流。
MSM光探测器的响应可以比光电二极管更快。其探测带宽可达几百GHz，因此适用于高速光纤通信中。
参考文献
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[5] J.-W. Shi et al., “Metal–semiconductor–metal traveling-wave photodetectors”, IEEE Photon. Technol. Lett. 13 (6), 623 (2001)
参阅：光电探测器、光电二极管、带宽
